扩散焊时须保证连接面及被连接金属不受空气的影响，必须在真空或惰性气体介质中进行。采用最多的方法是真空扩散焊。真空扩散焊可以用高频、辐射、接触电阻、电子束及辉光放电等方法，对工件进行局部或整体加热。工业生产中应用的扩散焊设备，主要采用感应和辐射加热的方法。

扩散焊设备由真空室、真空系统、加热系统、加压系统、对温度和真空度的检测以及控制装置等组成。无论何种加热方式的扩散焊设备都主要由以下几部分组成。

①真空室和真空系统

真空室越大，要达到和保持一定的真空度对所需真空系统要求越高。真空室中应有由耐高温材料围成的均匀加热区，以保持设定的温度稳定；真空室外壳需要冷却。真空系统一般由扩散泵和机械泵组成。机械泵只能达到1.33×10-3 Pa的真空度，加扩散泵后可以达到1.33×10-4～1.33×10-6Pa的真空度，可以满足材料的扩散焊要求。真空度越高，越有利于被焊材料表面杂质和氧化物的分解与蒸发，促进界面扩散的顺利进行。但真空度越高，抽真空的时间越长。按真空度可分为低真空（<1.33´10-2Pa）、中真空（1.33´10-3～1.33×10-4Pa）、高真空（>1.33´10-5Pa）。

②加热系统

一般由感应线圈和高频电源组成。根据不同的加热要求，辐射加热可选用钨、钼或石墨作加热体，经过高温辐射对工件进行加热。按加热方式分为感应加热、辐射加热、接触加热等。

③加压系统

扩散焊过程一般要施加一定的压力。在高温下材料的屈服强度较低，为避免构件的整体变形，加压只是使接触面产生微观的局部塑性变形。扩散焊所施加的压力较小，压强可在1～100MPa范围内变化。只有当材料的高温塑性变形阻力较大，或加工表面较粗糙，或扩散焊温度较低时，才采用较高的压力。目前主要采用液压和机械加压系统。

④测量与控制系统

现在应用的扩散焊机都具有对温度、压力、真空度及时间的控制系统。可实现对温度从20～2300℃的测量与控制，温度控制的精度可在±（5～10）℃。压力的测量与控制一般是通过压力传感器进行的。

⑤水冷系统

一般通过水循环系统进行冷却。扩散焊设备启动前应接通水冷循环。扩散焊设备种类繁多。表5.2列举了几种真空扩散焊设备的主要技术参数。

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